[实用新型]一种检测机台表面的水平检测装置有效
| 申请号： | 201720533822.5 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN207066420U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 姚佳辉 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/24 | 分类号： | G01C9/24 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种机台表面的水平检测装置，应用于检测机台表面是否水平，其中，包括基座，设置于检测机台表面上，可调节水平且可沿着检测机台表面移动；支杆，垂直的设置于基座上；线圈，设置于支杆的内部；磁体，套设于支杆上，且沿着支杆的设置方向可上下移动；探针，探针一端通过一刚性结构与磁体连接，另一端与机台表面接触，且探针与机台表面垂直；电流检测装置，连接线圈的两端。其技术方案有益效果在于，水平检测装置在检测过程中操作更加简单方便，可灵敏的检测出主机台表面的平整度，并且检测精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 机台 表面 水平 装置 | ||
【主权项】：
一种机台表面的水平检测装置，应用于检测机台表面是否水平，其特征在于，包括：基座，设置于所述检测机台表面上，可调节水平且可沿着所述检测机台表面移动；支杆，垂直的设置于所述基座上；线圈，设置于所述支杆的内部；磁体，套设于所述支杆上，且沿着所述支杆的设置方向可上下移动；探针，所述探针一端通过一刚性结构与所述磁体连接，另一端与所述机台表面接触，且所述探针与所述机台表面垂直；电流检测装置，连接所述线圈的两端。
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