[实用新型]一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构

摘要

本实用新型公开了一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，可实现真空环境中的元件通过真空室外进行三维位置调整，它包括移动座(1)，主轴(2)，支撑座(3)；所述的主轴包括移位波纹管(2‑1)，连接法兰(2‑2)，移动座(1)和主轴(2)通过螺钉固定连接，主轴(2)和连接法兰(2‑2)及移位波纹管(2‑1)焊接连接为一体，支撑座(3)通过螺钉分别和移动座(1)和主轴(2)相连接；通过调节移动座(1)上的三维平台，实现主轴(2)在真空环境下的X/Y/Z方向移位；该机构结构设计合理，实用性强，尤其解决了对真空状态下工作的元件的X/Y/Z方向的三维移位调节，应用范围广。

主权项

一种在真空室外对真空室内部元件进行三维位置调整的机构，它包括：移动座(1)、主轴(2)、支撑座(3)；所述的主轴(2)包括移位波纹管(2‑1)、连接法兰(2‑2)，连接法兰(2‑2)与移位波纹管(2‑1)焊接为一体；移动座(1)和主轴(2)通过螺钉固定连接；支撑座(3)通过螺钉分别和移动座(1)和主轴(2)相连接；其特征是通过调节真空室外的移动座(1)上的三维平台，实现主轴(2)在真空环境中的X/Y/Z方向移位。