[实用新型]基板边部检测设备有效
| 申请号： | 201720552649.3 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN206710330U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 周波;李青;王丽红;郑权 | 申请（专利权）人： | 东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人： | 陈庆超,桑传标 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种基板边部检测设备，所述基板边部检测设备包括拍摄单元，布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置以能够拍摄到基板边缘的第一侧表面的图像；照明单元，用于对基板边缘照射光；第一反光单元，布置在靠近基板边缘的第二侧表面的位置，拍摄单元通过第一反光单元能够拍摄到基板边缘的第二侧表面的图像。在通过照明单元向基板边缘照射光的状态下，拍摄单元直接拍摄到基板边缘的第一侧表面的图像，利用第一反光单元将基板边缘的第二侧表面的光反射至拍摄单元而拍摄到基板边缘的第二侧表面的图像，从而能够实现检测基板边部是否存在缺陷。同时，基板边部检测设备的安装位置并不会受到基板传送装置等其他结构的限制而具有安装方便的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 基板边部 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元(2)，该拍摄单元(2)布置在靠近基板(1)边缘的第一侧表面(11)的位置以能够拍摄到基板(1)边缘的所述第一侧表面(11)的图像；照明单元(4)，该照明单元(4)用于对基板(1)边缘照射光；第一反光单元(3)，该第一反光单元(3)布置在靠近基板(1)边缘的第二侧表面(12)的位置，所述拍摄单元(2)通过所述第一反光单元(3)能够拍摄到基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的图像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司，未经东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720552649.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：管道无损检测装置
- 下一篇：一种模具内部视觉检测装置
