[实用新型]一种温度传感器有效
申请号: | 201720569149.0 | 申请日: | 2017-05-19 |
公开(公告)号: | CN207366099U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 王凯;冯肖;李伟伟 | 申请(专利权)人: | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
主分类号: | G01K7/34 | 分类号: | G01K7/34 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 林玉芳 |
地址: | 528300 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种温度传感器,包括双栅薄膜晶体管和温度传感电容,所述温度传感电容与双栅薄膜晶体管的顶栅电极集成,并且形成因温度变化引起电流改变的传感器件。所述传感器件包括自上而下依次分布的上极板、电容介质层、充当双栅薄膜晶体管的顶栅电极的下极板、双栅薄膜晶体管的顶栅绝缘层、半导体层、双栅薄膜晶体管的底栅绝缘层、基板;所述的顶栅绝缘层内设有源极和漏极;所述底栅绝缘层内设有底栅电极。采用本实用新型所述的温度传感器,具有高灵敏度和电路简单的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 温度传感器 | ||
【主权项】:
1.一种温度传感器,其特征在于,包括双栅薄膜晶体管和温度传感电容,所述双栅薄膜晶体管包括顶栅电极、顶栅绝缘层、底栅绝缘层、基板,所述温度传感电容包括上极板、电容介质层、下极板,所述温度传感电容的下极板与双栅薄膜晶体管的顶栅电极集成,使所述双栅薄膜晶体管和温度传感电容两者集成为一体从而形成因温度变化引起电流改变的传感器件。
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