[实用新型]一种串联式气体光谱分析双气室

摘要

本实用新型提供一种串联式气体光谱分析双气室，包括制冷基板1和垂直于制冷基板1的气室；制冷基板1朝向气室的一面上设有光电探测器一2、光电探测器二4和激光器3；所述气室由互不连通的参考气室5和测量气室6沿垂直于制冷基板1的方向串联组成，气室靠近制冷基板1的一端设有光学窗口7，参考气室5和测量气室6之间设有楔形分光镜8；气室远离制冷基板1的一端设有平行于制冷基板1的反射镜9，参考气室5侧壁两端分别设有标准气体进口10和标准气体出口11，测量气室6侧壁两端分别设有待测气体进口12和待测气体出口13。参考气室5和测量气室6之间为可拆卸连接，位置可互换。光路部分可以使用空间光，也可采用光纤以避免光路调节的麻烦。

主权项

一种串联式气体光谱分析双气室，其特征在于：包括制冷基板（1）和垂直于制冷基板（1）的气室；制冷基板（1）朝向气室的一面上设有光电探测器一（2）、光电探测器二（4）和激光器（3）；所述气室由互不连通的参考气室（5）和测量气室（6）沿垂直于制冷基板（1）的方向串联组成，气室靠近制冷基板（1）的一端设有光学窗口（7），参考气室（5）和测量气室（6）之间设有楔形分光镜（8）；气室远离制冷基板（1）的一端设有平行于制冷基板（1）的反射镜（9），参考气室（5）侧壁两端分别设有标准气体进口（10）和标准气体出口（11），测量气室（6）侧壁两端分别设有待测气体进口（12）和待测气体出口（13）。