[实用新型]一种类岛状电子传输的薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201720576037.8 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN206834182U | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;曾勇;姚日晖;郑泽科;章红科;徐苗;王磊;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/221;H01L29/227;H01L29/24;H01L29/786;H01L21/34 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种类岛状电子传输的薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由衬底上依次设置的栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极构成；所述有源层为非连续的类岛状TCO薄膜和低载流子浓度材料薄膜组成的叠层结构，其中低载流子浓度材料薄膜连接相邻两个类岛状TCO薄膜，形成一个导电通道。本实用新型采用非连续的类岛状TCO薄膜能够有效降低其导电性，而低载流子的薄膜连接两个相邻TCO薄膜，使电子能够在相邻晶粒间有效传输并且维持一个理想的关态电流。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 电子 传输 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种类岛状电子传输的薄膜晶体管，由衬底上依次设置的栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极构成；其特征在于：所述有源层为非连续的类岛状TCO薄膜和低载流子浓度材料薄膜组成的叠层结构，其中低载流子浓度材料薄膜连接相邻两个类岛状TCO薄膜，形成一个导电通道。
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