[实用新型]一种金属‑半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构有效
申请号: | 201720581406.2 | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN206757090U | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 徐政杰;朱君;秦柳丽;傅得立 | 申请(专利权)人: | 广西师范大学 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122;B82Y40/00 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人: | 刘梅芳 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种金属‑半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构,其特征是,包括自下而上顺序叠接的二氧化硅基底、低折射率缓冲层、低折射率介质包层和金属Ag纳米带顶层,所述低折射率缓冲层中设有对称掩埋的第一纳米线和第二纳米线,第一纳米线和第二纳米线之间刻蚀有低折射率介质连通间隙。这种波导结构能够提高更强的局域化约束,具备为表面等离子激励电路提供基本单元器件,从而实现更大的带宽超快数据传输。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 半导体 纳米 线型 混合 表面 等离子 波导 结构 | ||
【主权项】:
一种金属‑半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构,其特征是,包括自下而上顺序叠接的二氧化硅基底、低折射率缓冲层、低折射率介质包层和金属Ag纳米带顶层,所述低折射率缓冲层中设有对称掩埋的第一纳米线和第二纳米线,第一纳米线和第二纳米线之间刻蚀有低折射率介质连通间隙。
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