[实用新型]单晶硅生长炉炉盖防爆防震机构有效
| 申请号： | 201720586145.3 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN206956209U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张瀛;贺贤汉;何爱军;郡司拓;祁贵军 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人： | 顾雯 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供单晶硅生长炉炉盖防爆防震机构，包括炉盖连接件，所述炉盖连接件是由一块竖板和一块横板组成的T字形结构，竖板穿过炉盖提升架预留的第一孔固定于炉盖上，所述第一孔的宽度大于竖板的宽度小于横板的宽度，且在炉盖提升架不动情况下，炉盖提升架与横板之间存在防震间隙，炉盖提升架与炉盖之间存在35‑45毫米间隙，竖板与第一孔之间存在防震间隙。采用活套方式，在拉晶过程中，炉盖提升架与炉盖处于脱开状态，保证有一定间隙防止共震，并且预留40毫米左右距离让炉盖在遇到突发情况能够自由上升，打开炉腔，释放压力。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生长 炉炉盖 防爆 防震 机构 | ||
【主权项】：
单晶硅生长炉炉盖防爆防震机构，其特征在于：包括炉盖连接件(2)，所述炉盖连接件(2)是由一块竖板和一块横板组成的T字形结构，竖板穿过炉盖提升架(1)预留的第一孔固定于炉盖(4)上，所述第一孔的宽度大于竖板的宽度小于横板的宽度，且在炉盖提升架(1)不动情况下，炉盖提升架与横板之间存在防震间隙，炉盖提升架与炉盖之间存在35‑45毫米间隙，竖板与第一孔之间存在防震间隙。
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