[实用新型]真空密封装置及包含其的真空操纵系统

摘要

本实用新型公开了一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统，所述真空密封装置包括箱体，箱体设有真空腔和若干驱动孔，驱动孔与真空腔连通；驱动部件，驱动部件穿设于驱动孔，且驱动部件的两端分别位于真空腔内和箱体外；波纹管，波纹管用于密封驱动部件和驱动孔之间的间隙。所述真空操纵系统包括如上所述的真空密封装置。本实用新型的真空密封装置通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本实用新型的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。

主权项

一种真空密封装置，其特征在于，所述真空密封装置包括：箱体，所述箱体设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的两端分别位于所述真空腔内和所述箱体外；波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙。