[实用新型]药液储存槽及湿制程装置有效
| 申请号： | 201720593304.2 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN206774585U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 郭荣波;邓世刚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;B67D99/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种药液储存槽及湿制程装置，药液储存槽包括接收废液的槽体、排液管道和用于对槽体内的液体进行搅拌的搅拌装置，所述槽体具有一内腔，所述排液管道的一端与所述槽体的内腔连通；所述搅拌装置设置于所述内腔内。本实用新型提供的一种药液储存槽，通过设置搅拌装置使得沉积在槽体底部的生成物可以被带出，与废液一起从排液管道排出，解决了现有技术中生成物在槽体底部聚集导致影响药液使用寿命和产品良品率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 储存 湿制程 装置 | ||
【主权项】：
一种药液储存槽，其特征在于，包括：接收废液的槽体、排液管道和用于对槽体内的液体进行搅拌的搅拌装置，所述槽体具有一内腔，所述排液管道的一端与所述槽体的内腔连通，所述搅拌装置设置于所述内腔内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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H01L51-54 .. 材料选择
