[实用新型]一种多芯片条同步研磨的研磨装置有效
| 申请号： | 201720600749.9 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN207104621U | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 刘钟远;潘伟星 | 申请（专利权）人： | 广东瑞芯源技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司44228 | 代理人： | 罗晓聪 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南海区桂城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多芯片条同步研磨的研磨装置，包括有磨盘、至少一组设置于磨盘表面上的研磨座、以及连接杆组，其特征在于每组所述研磨座上开有至少一个供芯片条放入的固定槽，其中，所述磨盘与研磨座相对转动以对放置于固定槽内的芯片条进行研磨处理；所述连接杆组包括有至少一根连接杆，其中，所述连接杆端部呈圆头状且与研磨座顶面上预开有的连接孔相转动连接，以使研磨座以连接杆为轴线相转动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 同步 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种多芯片条同步研磨的研磨装置，包括有磨盘（1）、至少一组环形设置于磨盘（1）表面上的研磨座（2）、以及连接杆组（3），其特征在于：每组所述研磨座（2）上开有至少一个供芯片条放入的固定槽（21），其中，所述磨盘（1）与研磨座（2）相对转动以对放置于固定槽（21）内的芯片条进行研磨处理；所述连接杆组（3）包括有至少一根连接杆（31），其中，所述连接杆（31）端部呈圆头状且与研磨座（2）顶面上预开有的连接槽相转动连接，以使研磨座（2）以连接杆（31）为轴线相转动。
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