[实用新型]多晶硅还原炉用新型石墨组件

摘要

一种多晶硅还原炉用新型石墨组件，包括卡帽、卡座、卡瓣，所述卡瓣的高度不高于卡帽的顶部的最高高度，本实用新型中，降低了卡瓣的高度，在卡瓣中间固定的硅芯完全暴露在还原炉的高温气氛中，而卡瓣周围的高温气氛较少，温度较低，多晶硅只会围绕硅芯生长，而不容易在卡瓣上沉积生长，这样在多晶硅棒生长的过程中，硅芯底部的卡瓣上不会生长多晶硅，生长完成的多晶硅棒内部不包含石墨卡瓣，从而也解决了碳头料浪费的问题，使用本实用新型的石墨组件，硅芯底部的卡瓣上不会生长多晶硅，比较于现有技术，至少可以减少20mm的碳头料的损失。

主权项

一种多晶硅还原炉用新型石墨组件，其特征在于：包括卡帽、卡座、卡瓣，卡帽为底部开口的空心圆柱体，卡帽的空腔用于卡座插入，在卡帽顶部预留卡瓣穿过的孔，卡座为与卡帽的空腔匹配的圆柱体，卡瓣夹持在卡座与卡帽之间，卡瓣的顶部从卡帽顶部预留的孔穿出，所述卡瓣的高度不高于卡帽的顶部的最高高度。