[实用新型]反应腔室有效
| 申请号： | 201720625747.5 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN207074638U | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 肖德志;琚里 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种反应腔室，包括卡盘和散斑干涉检测装置；散斑干涉检测装置包括光源、光电转换器和处理器；所述光源输出的光信号分为物光和参考光；所述物光发射至所述晶片的表面并反射至所述光电转换器，所述参考光直接发射至所述光电转换器；所述光电转换器用于将接收到的所述物光和参考光的光信号转换为电信号并发送至处理器；处理器用于基于电信号获得散斑干涉条纹，以根据所述散斑干涉条纹判断所述晶片的状态。本实用新型可以提高晶片状态检测的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 | ||
【主权项】：
一种反应腔室，在其内设置有用于承载晶片的卡盘，其特征在于，所述反应腔室还包括：用于检测所述晶片表面状态的散斑干涉检测装置；所述散斑干涉检测装置包括光源、光电转换器和处理器；所述光源输出的光信号分为物光和参考光；所述物光发射至所述晶片的表面并反射至所述光电转换器，所述参考光直接发射至所述光电转换器；所述光电转换器，用于将接收到的所述物光和所述参考光的光信号转换为电信号并发送至所述处理器；所述处理器，用于基于所述电信号获得散斑干涉条纹，以根据所述散斑干涉条纹判断所述晶片的状态。
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