[实用新型]一种显影装置有效
| 申请号： | 201720628764.4 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN207008286U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 杨档 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种显影装置，包括显影液管路，连接在显影液池和显影液喷嘴之间，用于将显影液从所述显影液池输送至所述显影液喷嘴；温度控制单元，设置在所述显影液管路内，用于控制所述显影液的温度。由此，保证了显影液的温度不偏离预设温度，从而保证了显影均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种显影装置，其特征在于，包括：显影液管路，连接在显影液池和显影液喷嘴之间，用于将显影液从所述显影液池输送至所述显影液喷嘴；温度控制单元，设置在所述显影液管路内，用于控制所述显影液的温度。
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