[实用新型]质谱检漏仪结构有效
| 申请号： | 201720637614.X | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN206945230U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 林震;周毅;罗俊;谭荣;柏胜;朱朝轩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙)50221 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种质谱检漏仪结构，包括检漏仪本体、抽真空系统、抽真空管、平台和密封盒，所述平台设有通孔，所述密封盒无盖，所述密封盒盖合于所述通孔，所述抽真空管对准所述通孔，所述密封盒和抽真空管分别设于平台的两侧，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，所述密封盒内设有密封圈，所述密封圈设有支出部，所述支出部支出密封盒的盖合口。由于采用了上述技术方案，本实用新型具有结构合理的优点，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，尽可能缩短抽取真空的时间，提高氦质谱检漏仪的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检漏 结构 | ||
【主权项】：
质谱检漏仪结构，其特征在于，包括检漏仪本体、抽真空系统、抽真空管、平台和密封盒，所述平台设有通孔，所述密封盒无盖，所述密封盒盖合于所述通孔，所述抽真空管对准所述通孔，所述密封盒和抽真空管分别设于平台的两侧，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，所述密封盒内设有密封圈，所述密封圈包括支出部，所述支出部支出密封盒的盖合口。
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