[实用新型]芯片旋转共晶焊接台有效
申请号: | 201720639668.X | 申请日: | 2017-06-02 |
公开(公告)号: | CN206931583U | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 代克明;曾林波;肖华平 | 申请(专利权)人: | 广东瑞谷光网通信股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳市凯达知识产权事务所44256 | 代理人: | 刘大弯 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片旋转共晶焊接台,包括底板,所述底板上固定有吸嘴移动平台和焊台移动平台,所述吸嘴移动平台上设置有一驱动旋转吸嘴在竖直面旋转吸嘴旋转电机,所述焊台移动平台上设置有一驱动共晶焊台水平旋转的焊台旋转电机,所述旋转吸嘴包括周向均匀设置的四个真空吸嘴,所述共晶焊台上至少设置有二个焊台,所述焊台的管座进料孔周向设置,所述真空吸嘴上吸附有管座。本实用新型具有能提高加工效率、设备占用场所面积小的优点。 | ||
搜索关键词: | 芯片 旋转 焊接 | ||
【主权项】:
一种芯片旋转共晶焊接台,其特征在于:包括底板,所述底板上固定有吸嘴移动平台和焊台移动平台,所述吸嘴移动平台上设置有一驱动旋转吸嘴在竖直面旋转吸嘴旋转电机,所述焊台移动平台上设置有一驱动共晶焊台水平旋转的焊台旋转电机,所述旋转吸嘴包括周向均匀设置的四个真空吸嘴,所述共晶焊台上至少设置有二个焊台,所述焊台的管座进料孔周向设置,所述真空吸嘴上吸附有管座,所述吸嘴移动平台平动将真空吸嘴上吸附的管座从管座进料孔送入焊台内,垫片搬运吸嘴从上方将垫片送入管座的底座上进行共晶焊接,然后芯片搬运吸嘴从上方将芯片送入垫片上进行共晶焊接,最后真空吸嘴退出,焊台旋转电机驱动共晶焊台水平旋转使另一个空焊台转到焊接位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造