[实用新型]过热氢交联反应的原子激发装置有效
申请号: | 201720660968.6 | 申请日: | 2017-06-08 |
公开(公告)号: | CN207184911U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 古启明 | 申请(专利权)人: | 宏基领先科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 肖平安 |
地址: | 中国香港沙田科学园科*** | 国省代码: | 香港;81 |
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摘要: | 本实用新型过热氢交联反应的原子激发装置,包括底座,底座下方设有等离子腔,等离子腔侧壁设有气体通道,气体通道入口设置有阀门,等离子腔下方连接漂移管;底座上方设有至少一个电子回旋共振同轴等离子体发生器,电子回旋共振同轴等离子体发生器包括垂直设置的永磁铁和微波导入装置,微波导入装置为同轴线接口,同轴线接口连接固态微波发生器,固态微波发生器内设有与电子回旋共振同轴等离子体发生器相对应数量的发生器模组,永磁铁下方设有高压电极组;永磁铁表面设置有冷却管,冷却管内充有循环的冷却水,冷却管的入口和出口设置于电子回旋共振同轴等离子体发生器顶端。 | ||
搜索关键词: | 过热 交联 反应 原子 激发 装置 | ||
【主权项】:
过热氢交联反应的原子激发装置,其特征在于:包括底座,所述底座下方设置有等离子腔,所述等离子腔侧壁上开设有气体通道,所述等离子腔下方连接漂移管,所述底座上设置有至少一个电子回旋共振同轴等离子体发生器,所述电子回旋共振同轴等离子体发生器包括垂直设置的永磁铁和微波导入装置,所述微波导入装置为同轴线接口,所述同轴线接口连接固态微波发生器,所述固态微波发生器内装设有与所述电子回旋共振同轴等离子体发生器相对应数量的发生器模组,所述永磁铁下方设置有高压电极组。
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