[实用新型]沉积环及卡盘组件有效
| 申请号： | 201720664540.9 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN207176067U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李新颖;张禄禄;李冰;赵梦欣;边国栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 汪洋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种沉积环(50)及使用其的卡盘组件，其在卡盘组件中与盖环和基座配合使用，包括具有上表面(52)和下表面(53)的环形本体(51)；形成于所述上表面(52)的环形凹槽(55)；其中，所述沉积环还包括用于卡接到所述基座的卡接部(58)。通过将沉积环卡接到基座，可以降低沉积环的移位和脱落危险，增加沉积环的有效工作时间。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 卡盘 组件 | ||
【主权项】：
一种沉积环(50)，其在卡盘组件中与盖环和基座配合使用，包括：具有上表面(52)和下表面(53)的环形本体(51)；形成于所述上表面(52)的环形凹槽(55)；其特征在于，所述沉积环还包括卡接部(58)，所述卡接部用于将所述沉积环(50)卡接到所述基座上，以将所述沉积环(50)固定在所述基座上。
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