[实用新型]限位研磨盘和研磨设备

摘要

本实用新型提供了一种限位研磨盘和研磨设备，其中，限位研磨盘，包括磨盘主体；多个限位结构，安装于磨盘主体，多个限位结构以磨盘主体的中心圆周阵列，其中，每个限位结构相对于磨盘主体的端面做垂直运动。通过本实用新型的技术方案，增加了产品的可控性，通过调节多个限位结构的高度，首先能够将晶圆片平稳的固定在限位研磨盘上，使晶圆片的待加工表面平行，然后确定加工厚度，依次调节多个限位结构，使晶圆片的待加工表面平稳上升对应的高度值，最后开始加工，增强了加工过程的可控性，减少了加工厚度不均匀的情况，进而减小了裂片率和报废率，同时，减少了人员操作时间，提高了加工效率。

主权项

一种限位研磨盘，其特征在于，包括：磨盘主体；多个限位结构，安装于所述磨盘主体，所述多个限位结构以所述磨盘主体的中心圆周阵列，其中，每个所述限位结构相对于所述磨盘主体的端面做垂直运动；多个安装孔，每个所述安装孔连通所述磨盘主体的端面和侧面，每个所述限位结构对应安装于每个所述安装孔；其中，所述限位结构包括：限位柱；固定套，盖设于所述磨盘主体的端面的所述安装孔上，且所述固定套的端面与所述磨盘主体的端面平齐，所述固定套的端面设有与所述限位柱配合的配合孔；调节销，设于所述安装孔，所述调节销一端设置在所述磨盘主体的侧面，所述调节销的另一端与所述限位柱配合设置，所述调节销调节所述限位柱的高度。