[实用新型]一种高精度纳米位移台

摘要

本实用新型公开了一种高精度纳米位移台，包括安装盘、主管套、底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，其中，通过压电陶瓷棒的变形直接作用在主管套上而直接实现主管套的上下移动，压电陶瓷便于控制形变精度，能够提高该位移台负载能力，任意调节运动速度等特性，并且通过弹簧的作用力起到归位作用，使压电陶瓷棒的顶部在弹簧的拉力下能够始终抵靠在主管套的上套管顶部内侧。并且，主管套、安装盘、底套筒为分体式设计，组装、拆卸方便、成本低、便于维修。

主权项

一种高精度纳米位移台，其特征在于：包括安装盘、安装在安装盘上方的主管套、固定在安装盘下方的底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，所述安装盘的上方设有上开口，所述主管套包括上套管及下套管，且上套管与下套管结合处形成台阶，所述下套管的直径大于上开口的直径，且下套管位于安装盘内部，而上套管自上开口延伸出安装盘，所述压电陶瓷棒的上端抵靠在上套管的上部内侧，压电陶瓷棒的下端抵靠在底套筒的下部内侧，所述弹簧的下方固定在安装盘的底部，弹簧的上方固定在所述上套管的顶部，所述主管套随着压电陶瓷棒的变形而上下移动。