[实用新型]尺寸可调式掩模板自动切换平移系统

摘要

本实用新型公开了尺寸可调式掩模板自动切换平移系统。所设计的尺寸可调机械装夹器作为掩模板的夹持工具，齿轮齿条为位移输入设备，所构成的简易平移台作为系统的平移工具，步进电机及其驱动器/驱动电路构成的驱动系统作为平移台的动力输入，上位机和控制器构成的控制系统作为参数输入的控制上层。本实用新型的尺寸可调式掩模板自动切换平移系统功能全面，成本低廉，可实现不同尺寸掩模板的自由夹持、掩模板间的自动切换、掩模板的位移微调和持续横移，解决了当下相关技术难题，不仅可用于光纤光栅刻写，还可以应用到薄膜以及其他微纳米材料的掩模板法光栅刻写。

主权项

尺寸可调式掩模板自动切换平移系统，其特征在于：该系统由简易平移台(1)、齿轮(2)、掩模板装夹器(3)、电机(4)、电机驱动器(5)、控制器(6)、PC上位机(7)组成；掩模板装夹器(3)安装或固化在简易平移台(1)上，掩模板装夹器(3)为系统核心器件；简易平移台(1)的底部设有齿条结构，齿条与齿轮(2)相啮合，简易平移台(1)由齿轮(2)带动，简易平移台(1)与齿条结构通过刚性螺栓螺母连接，根据齿条的尺寸在齿条两端打下标准螺纹孔；电机(4)的输出转轴与齿轮(2)连接，电机(4)带动齿轮(2)旋转；电机(4)连接有电机驱动器(5)，电机驱动器(5)与控制器(6)连接，控制器(6)与PC上位机(7)连接；简易平移台(1)、掩模板装夹器(3)、齿轮(2)和电机(4)组成系统的前端，简易平移台(1)上设有包括四个掩模板装夹器(3)，简易平移台(1)的一侧设有两个平行布置的掩模板装夹器(3)，简易平移台(1)的另一侧设有另外两个平行布置的掩模板装夹器(3)；两侧的掩模板装夹器(3)互成180度角，同时安装于不同光源位置。