[实用新型]一种蒸镀用掩膜板组件有效
申请号: | 201720686923.6 | 申请日: | 2017-06-13 |
公开(公告)号: | CN206858643U | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 张峰杰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 许静,刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种蒸镀用掩膜板组件,包括掩膜板本体,所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口,其中,所述掩膜板组件还包括遮挡部,所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态;其中在所述第一状态下,所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。该蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部,使得蒸镀过程中,蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上,进行清理时,只需要将遮挡部取下即可,方便、省力,从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸镀用掩膜板 组件 | ||
【主权项】:
一种蒸镀用掩膜板组件,包括掩膜板本体,所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口,其特征在于,所述掩膜板组件还包括遮挡部,所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态;其中在所述第一状态下,所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。
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