[实用新型]一种非晶氧化物薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201720690728.0 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN207217550U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;刘贤哲;姚日晖;李晓庆;张啸尘;徐苗;王磊;彭俊彪;王晓峰;张紫辰 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/428;H01L21/34 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于显示器件技术领域，公开了一种非晶氧化物薄膜晶体管。所述非晶氧化物薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、AlNd薄膜栅极、AlOxNd栅极绝缘层、氧化物半导体薄膜有源层和源/漏电极构成，其中源/漏电极与有源层位于同一层，源/漏电极分布在有源层两端。本实用新型源漏电极与有源层之间接触面积小，寄生电容小，减小阻容延迟。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种非晶氧化物薄膜晶体管，其特征在于：由依次层叠的玻璃基板、Al:Nd薄膜栅极、AlOx:Nd栅极绝缘层、氧化物半导体薄膜有源层和源/漏电极构成，其中源/漏电极与有源层位于同一层，源/漏电极分布在有源层两端。
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