[实用新型]一种悬空式外延治具有效

专利信息
申请号: 201720691476.3 申请日: 2017-06-14
公开(公告)号: CN206921792U 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 秦斌 申请(专利权)人: 广州华之尊光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510000 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种悬空式外延治具,包括外延片放置槽、底座、顶珠和定位装置,所述外延片放置槽与底座构成了治具本体,所述底座上均匀设置有若干个外延片放置槽,所述外延片放置槽内部四周均匀设置有五个顶珠,所述外延片放置槽的槽壁上均匀设置有六个定位装置,所述定位装置由弹簧和固定块构成,所述固定块安装在外延片放置槽槽壁的安装腔内,且固定块与槽壁之间通过弹簧固定连接,所述外延片放置槽的中间位置上安装有集尘橡胶。本实用新型结构新颖,安装方便,极大的保护了外延片的本身质量。
搜索关键词: 一种 悬空 外延
【主权项】:
一种悬空式外延治具,包括外延片放置槽(2)、底座(3)、顶珠(7)和定位装置(10),其特征在于:所述外延片放置槽(2)与底座(3)构成了治具本体(1),所述底座(3)上均匀设置有若干个外延片放置槽(2),所述外延片放置槽(2)内部四周均匀设置有五个顶珠(7),所述外延片放置槽(2)的槽壁(5)上均匀设置有六个定位装置(10),所述定位装置(10)由弹簧(6)和固定块(8)构成,所述固定块(8)安装在外延片放置槽(2)槽壁(5)的安装腔内,且固定块(8)与槽壁(5)之间通过弹簧(6)固定连接,所述外延片放置槽(2)的中间位置上安装有集尘橡胶(9)。
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