[实用新型]一种悬空式外延治具有效
| 申请号： | 201720691476.3 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN206921792U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 秦斌 | 申请（专利权）人： | 广州华之尊光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种悬空式外延治具，包括外延片放置槽、底座、顶珠和定位装置，所述外延片放置槽与底座构成了治具本体，所述底座上均匀设置有若干个外延片放置槽，所述外延片放置槽内部四周均匀设置有五个顶珠，所述外延片放置槽的槽壁上均匀设置有六个定位装置，所述定位装置由弹簧和固定块构成，所述固定块安装在外延片放置槽槽壁的安装腔内，且固定块与槽壁之间通过弹簧固定连接，所述外延片放置槽的中间位置上安装有集尘橡胶。本实用新型结构新颖，安装方便，极大的保护了外延片的本身质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬空 外延 | ||
【主权项】：
一种悬空式外延治具，包括外延片放置槽(2)、底座(3)、顶珠(7)和定位装置(10)，其特征在于：所述外延片放置槽(2)与底座(3)构成了治具本体(1)，所述底座(3)上均匀设置有若干个外延片放置槽(2)，所述外延片放置槽(2)内部四周均匀设置有五个顶珠(7)，所述外延片放置槽(2)的槽壁(5)上均匀设置有六个定位装置(10)，所述定位装置(10)由弹簧(6)和固定块(8)构成，所述固定块(8)安装在外延片放置槽(2)槽壁(5)的安装腔内，且固定块(8)与槽壁(5)之间通过弹簧(6)固定连接，所述外延片放置槽(2)的中间位置上安装有集尘橡胶(9)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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