[实用新型]一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201720694203.4 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN207119583U | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 任丽;褚世君 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙)12210 | 代理人： | 赵凤英 |
| 地址： | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型为一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置。该清洗装置按照清洗次序依次为喷淋槽、溢流超声波清洗槽、碱性清洗剂超声波清洗槽、第一纯水超声波清洗槽、第二纯水超声波清洗槽、高温空气烘干槽；其中，所述的喷淋槽、四个超声波清洗槽和烘干槽的尺寸都一样，均为长650mm×宽450mm×高450mm；喷淋槽的4个内侧板上设置有总计80‑100个可上下扫动式喷淋头。本实用新型所述的应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置能在保证硅片清洗质量的同时显著降低清洗成本，按照月产出100万片硅片计算，仅水的成本便可节约4000元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 金刚 切割 工艺 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置，其特征为该清洗装置按照清洗次序依次为喷淋槽、溢流超声波清洗槽、碱性清洗剂超声波清洗槽、第一纯水超声波清洗槽、第二纯水超声波清洗槽、高温空气烘干槽；其中，所述的喷淋槽、四个超声波清洗槽和烘干槽的尺寸都一样，均为长650mm×宽450mm×高450mm；喷淋槽、碱性清洗剂超声波清洗槽、纯水超声波清洗槽、纯水超声波清洗槽的底部分别设置直径6厘米排水孔和进水孔；溢流超声波清洗槽在底部直径6厘米的进水孔，在距槽子上沿2厘米位置设置有排水孔；喷淋槽的4个内侧板上设置有总计80‑100个扫动式喷淋头；高温空气烘干槽上部设置有进气口，底部为自然排气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北工业大学，未经河北工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720694203.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
