[实用新型]水冷铜坩埚有效
申请号: | 201720697055.1 | 申请日: | 2017-06-15 |
公开(公告)号: | CN207050439U | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 刘源;张恒;王乃娟;徐从华 | 申请(专利权)人: | 河北清华发展研究院 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;F27D9/00 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司11606 | 代理人: | 王赛 |
地址: | 065001 河北省廊*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供一种水冷铜坩埚,包括坩埚本体及冷却水循环系统,所述坩埚本体包括分体成型的筒状侧壁及圆柱形底壁,所述冷却水循环系统包括相互独立的侧壁冷却水循环系统及底壁冷却水循环系统,所述底壁冷却水循环系统包括位于所述底壁下方的冷却杆,所述冷却杆内部包括第一进水管、第一出水管及集水腔,所述集水腔分别与所述第一进水管及所述第一出水管连接,并位于所述第一进水管及所述第一出水管的端部与所述底壁的底面之间。 | ||
搜索关键词: | 水冷 坩埚 | ||
【主权项】:
一种水冷铜坩埚,包括坩埚本体及冷却水循环系统,其特征在于,所述坩埚本体包括分体成型的筒状侧壁及圆柱形底壁,所述冷却水循环系统包括相互独立的侧壁冷却水循环系统及底壁冷却水循环系统,所述底壁冷却水循环系统包括位于所述底壁下方的冷却杆,所述冷却杆内部包括第一进水管、第一出水管及集水腔,所述集水腔分别与所述第一进水管及所述第一出水管连接,并位于所述第一进水管及所述第一出水管的端部与所述底壁的底面之间。
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