[实用新型]晶体硅太阳能电池的退火装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池的退火装置，包括托盘，传输装置，以及多个工艺腔，传输装置穿过每个工艺腔；多个工艺腔包括至少一个用于电注入及温度模块化控制的退火腔及至少一个用于快速冷却的冷却腔，退火腔和冷却腔沿着传输装置的传输方向依次设置；退火腔内部上方设有可上下升降的平板电极，平板电极连接外部电源，平板电极能够在传动装置的驱动下夹紧电池片叠层与托盘，以使电池片叠层与平板电极构成回路；传输装置、平板电极及传动装置均连接控制系统；其通过多个独立设置的工艺腔，每个工艺腔独立实现电注入及温度调控，从而满足工艺需求，节省能源消耗，降低生产成本。

主权项

晶体硅太阳能电池的退火装置，其特征在于，包括用于盛放电池片叠层的托盘，用于传送所述托盘的传输装置，以及沿着所述传输装置的传输方向依次设置的多个工艺腔，所述传输装置穿过每个所述工艺腔；多个所述工艺腔包括至少一个用于电注入及温度模块化控制的退火腔及至少一个用于快速冷却的冷却腔，所述退火腔和所述冷却腔沿着所述传输装置的传输方向依次设置；所述退火腔内部上方设有可上下升降的平板电极，所述平板电极连接外部电源，所述平板电极能够在传动装置的驱动下夹紧电池片叠层与所述托盘，以使电池片叠层与所述平板电极构成回路；所述传输装置、所述平板电极及所述传动装置均连接控制系统。