[实用新型]一种带冷却功能的镀膜用防护罩及其镀膜装置有效
| 申请号： | 201720704376.X | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN207391539U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 张广辉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于物理气相沉积镀膜技术设备领域，尤其是涉及一种带冷却功能的镀膜用防护罩及其镀膜装置。一种带冷却功能的镀膜用防护罩，包括固定在镀膜腔内侧的罩身和与该罩身固定连接的冷却组件，所述冷却组件包括固定在所述罩身外侧的第一冷却组件和固定在所述罩身底部的第二冷却组件。本实用新型在镀膜防护罩的外侧采用冷却管道对防护罩进行冷却，进而降低镀膜腔室内温度，减少腔室内的热源，减少晶片的热源，减小薄膜的应力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 功能 镀膜 防护罩 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带冷却功能的镀膜用防护罩，其特征在于，包括固定在镀膜腔内侧的罩身和与该罩身固定连接的冷却组件，所述冷却组件包括固定在所述罩身外侧的第一冷却组件和固定在所述罩身底部的第二冷却组件。
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