[实用新型]机械臂有效
| 申请号： | 201720707466.4 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN206931579U | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 刘留;沈艳东;周铁军;廖彬;曾小东 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种机械臂，包括一电机、电性连接电机并控制电机的一控制器、包覆电机的一电机套、一伸缩臂套件、用于连接电机及伸缩臂套件的一升降轴以及活动连接在伸缩臂套件一端上的一传送板，所述升降轴与电机套同轴连接且升降轴能够沿着电机套进行轴向升降，所述伸缩臂套件的另一端与升降轴活动连接。本实用新型机械臂通过电机控制下的伸缩臂组件的活动，大大扩展了机械臂的自由度和可传送空间，提高机械臂的传送效率，传送板不会对晶片表面造成损伤，值得在实际生产中推广。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 | ||
【主权项】：
一种机械臂，其特征在于：包括一电机、电性连接电机并控制电机的一控制器、支撑电机的一电机套、一伸缩臂套件、用于连接电机及伸缩臂套件的一升降轴以及活动连接在伸缩臂套件一端上的一传送板，所述升降轴与电机套同轴连接且升降轴能够沿着电机和/或电机套进行轴向升降，所述伸缩臂套件的另一端与升降轴活动连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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