[实用新型]振膜及应用该振膜的MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720710459.X | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN207706427U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;吴志江 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/12 | 分类号： | H04R7/12;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种振膜及应用该振膜的MEMS麦克风，所述振膜上设有位于振膜边缘的第一声孔群、环绕所述第一声孔群的第二声孔群以及环绕所述第二声孔群的第三声孔群。本实用新型提高了振膜及MEMS麦克风的声学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 振膜 孔群 本实用新型 环绕 声学性能 振膜边缘 应用 | ||
【主权项】：
1.一种振膜，其特征在于：所述振膜上设有位于振膜边缘的第一声孔群、环绕所述第一声孔群的第二声孔群以及环绕所述第二声孔群的第三声孔群，所述第一声孔群中的声孔的孔径与所述第二声孔群中的声孔的孔径相等。
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