[实用新型]真空炉测温装置

摘要

本实用新型公开了一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉；所述真空炉测温装置包括安装座；支架；直线驱动机构，安装在支架的悬伸端，且该直线驱动机构的驱动端与过孔相对；波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。依据本实用新型变动密封为静密封，从而具有比较好的密封性能。

主权项

一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉，其中，在真空腔室内设有保温室，并且保温室与真空腔室的内壁面间留有给定距离，在保温室给定的位置开有过孔，真空腔室对位于过孔的壁开有安装孔；其特征在于，所述真空炉测温装置包括：安装座，固定安装在真空腔室上，并具有与安装孔对位的中心孔；支架，固定安装在安装座上，并在过孔的轴向远离真空腔室悬伸；直线驱动机构，安装在支架的悬伸端，且该直线驱动机构的驱动端与过孔相对；波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。