[实用新型]一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201720715815.7 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN207083268U | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张明;王鹏宇;李传;杨勇 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人： | 张建伟,曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置。该装置包括等离子体发生单元、加热单元和供气单元。所述加热单元包括电热件、高温绝缘套管、绝缘隔热组件、接线端子和电源；热电子发射阴极、阳极筒、高压电源和高压接线端子；供气单元包含高压气罐和气管。该装置可在常压环境下提供高密度等离子体。该装置具有如下有优点结构简单、体积小、造价成本低，产生等离子体密度大和无臭氧等副产物产生。本实用新型还具有成本相对较低、结构简单，可便携移动，灵活度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电子 发射 阴极 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置，包括加热单元、等离子体发生单元和供气单元组成，其特征在于：所述加热单元包括电热件(10)、高温绝缘套管(11)、绝缘隔热组件(12)、接线端子(13)和电源(14)；所述电热件(10)安装在高温绝缘套管(11)内，两端通过绝缘隔热组件(12)的两根接线端子(13)接电源(14)输出端；所述高温绝缘套管(11)为筒状结构，其一侧封闭，另一侧与绝缘隔热组件(12)固定连接，将电热件(10)包含在内，构成一个密封加热空间；通过调节所述电源(14)输出电压，能改变电热件(10)发热功率，控制高温绝缘套管(11)表面温度；所述等离子体发生单元包括热电子发射阴极(20)、阳极筒(21)、高压电源(22)和高压接线端子(23)；所述阳极筒(21)为整体接地的圆筒状结构，同轴设在电子发射阴极(20)外部；阳极筒(21)一端开设有喷嘴(25)，用于喷射等离子体，另一端固定在绝缘隔热组件(12)上；所述热电子发射阴极(20)为筒状结构，贴附安装在高温绝缘套管(11)外表面，以接受其发出的热量；热电子发射阴极(20)开口一端固定在所述绝缘隔热组件(12)上；所述热电子发射阴极(20)与所述高温绝缘套管(11)同轴设置，用于发射电子；所述高压电源(22)输出高压端作高压极通过高压接线端子(23)与所述热电子发射阴极(20)相连，高压电源(22)输出另一端作为地极接地；所述高压电源(22)输出电压可调节，用于改变热电子发射阴极(20)工作电压，控制等离子体发生密度；所述供气单元包含高压气罐(30)，其通过气管(31)穿过所述绝缘隔热组件(12)与阳极筒(21)和热电子发射阴极(20)构成的腔体相通，用于向热电子发射阴极(20)和阳极筒(21)构成的放电空间提供工作气氛；工作时，经过电热件(10)加热，热电子发射阴极(20)在高压作用下发射电子，产生等离子体，并在供气单元产生的气流作用下，形成等离子体射流，从所述喷嘴喷射。
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