[实用新型]多方向的压电超声发生器有效
申请号: | 201720717543.4 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN206838453U | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 王德波;辛济昊;白雪婧 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06;B81B7/02;B81C1/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 刘莎 |
地址: | 210023 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种多方向的压电超声发生器,是一种结构简单,操作容易,方向性可调,且便于集成的超声发生器。该超声发生器以硅为衬底,在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS悬臂梁下拉电极。本实用新型既可以对三个MEMS悬臂梁下拉电极同时施加相同大小的电压,也可以通过选择不同组合方式对MEMS悬臂梁下拉电极单独的施加电压,共有七种组合方式来实现压电超声发生器的方向性选择。 | ||
搜索关键词: | 多方 压电 超声 发生器 | ||
【主权项】:
多方向的压电超声发生器,其特征在于,该压电超声发生器以硅为衬底,在硅衬底上设有三角形桥墩,在所述三角形桥墩的三个侧面分别设有一个MEMS悬臂梁;每个所述MEMS悬臂梁的一端固定在三角形桥墩上,另一端为自由端;每个所述MEMS悬臂梁的下方的硅衬底上分别设有一个MEMS悬臂梁下拉电极;每个MEMS悬臂梁下拉电极上设有压电材料层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学,未经南京邮电大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201720717543.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。