[实用新型]一种大角度偏振膜的蒸镀设备有效
| 申请号： | 201720722626.2 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN207159340U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 游海斌 | 申请（专利权）人： | 福州宏旭科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G02B1/115 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350000 福建省福州市仓山*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种大角度偏振膜的蒸镀设备，包括蒸镀腔体，蒸镀腔体内下方设有转盘机构，转盘机构上设有工件夹持机构；所述蒸镀腔体的上方设有RF离子源装置，蒸镀腔体内的两侧各设有一个电子蒸镀枪装置；所述蒸镀腔体外设有真空系统和冷却系统，蒸镀腔体分别与真空系统和冷却系统连接；所述蒸镀腔体内还设有加热装置。本实用新型提供的一种大角度偏振膜的蒸镀设备可以生产出大角度的多层膜偏振棱镜，从而可以代替成本昂贵的晶体，降低液晶投影器的成本。不仅如此，本实用新型提供的一种大角度偏振膜的蒸镀设备还具有制冷高效节能，工件夹持方便、牢固，抽真空效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 偏振 设备 | ||
【主权项】：
一种大角度偏振膜的蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀腔体，蒸镀腔体内下方设有转盘机构，转盘机构上设有工件夹持机构；所述蒸镀腔体的上方设有RF离子源装置，蒸镀腔体内的两侧各设有一个电子蒸镀枪装置；所述蒸镀腔体外设有真空系统和冷却系统，蒸镀腔体分别与真空系统和冷却系统连接；所述蒸镀腔体内还设有加热装置。
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