[实用新型]硅片慢提拉清洗槽

摘要

本实用新型涉及太阳能电池片制备技术领域，尤其是一种硅片慢提拉清洗槽，包括用于清洗硅片的水槽，水槽上具有开口向上的清洗腔，水槽的顶端位于清洗腔开口的两侧分别设置有热风刀及挡风板，热风刀内具有风腔，热风刀的内表面开设有若干与风腔连通的出风孔道，出风孔道的轴线由外至内向下倾斜，挡风板的内侧面由外至内向上倾斜，本实用新型的硅片慢提拉清洗槽具有脱水效果好、清洁度高、对硅片表面无损伤且不易留下水痕等优点，硅片进行脱水处理后，硅片表面不会留下水痕，热风刀的设置可以有效提升慢提拉速度，实现快速下降提升，以配合不同的清洗工艺要求。

主权项

一种硅片慢提拉清洗槽，其特征在于：包括用于清洗硅片的水槽(1)，所述水槽(1)上具有开口向上的清洗腔(1‑1)，所述水槽(1)的顶端位于清洗腔(1‑1)开口的两侧分别设置有热风刀(2)及挡风板(3)，所述热风刀(2)内具有风腔(2‑1)，所述热风刀(2)的内表面开设有若干与风腔(2‑1)连通的出风孔道(2‑2)，所述出风孔道(2‑2)的轴线由外至内向下倾斜，所述挡风板(3)的内侧面由外至内向上倾斜。