[实用新型]一种基于数字微镜阵列的并行共焦显微成像装置

摘要

本实用新型公开了一种基于数字微镜阵列的并行共焦显微成像装置，本实用新型巧妙地利用数字微镜器件作为光分束器件，同时充当照明针孔和探测针孔，以及光源和相机及相关光学组件的结合，实现多点并行共焦成像模式。在满足高扫描速率和高光能利用率的同时，使系统能适应不同样品的成像要求，实现柔性测量；无机械振动的影响，提高了系统的稳定性。

主权项

一种基于数字微镜阵列的并行共焦显微成像装置，其特征在于，包括照明单元、分光单元、数字微镜器件、筒镜、物镜、成像透镜、相机及中央控制装置；所述照明单元包括光源、照明透镜；所述分光单元包括二向色镜和发射片；或，所述分光单元包括偏振分束器和四分之一波片所述数字微镜器件，设有若干可偏转的微镜，用于构成具有特定大小和周期的虚拟针孔阵列；所述中央控制装置控制数字微镜器件上每一个微镜的偏转角度，使其置于“ON”态或“OFF”态；所述中央控制装置与所述数字微镜器件、相机分别相互电联接；光源发出的光经照明透镜、二向色镜或偏振分束镜照射到数字微镜器件表面，中央控制装置控制数字微镜器件上每个微镜的偏转角度，产生特定大小和周期的虚拟针孔阵列，“ON”态微镜反射的光调制为点光源阵列，经筒镜和物镜聚焦到被测物表面，从被测物表面返回的光经物镜和筒镜后照射到数字微镜器件表面，数字微镜器件的虚拟针孔阵列对返回光进行调制，滤去离焦剖面的返回光，只将共焦剖面的返回光经分光单元反射、再通过成像透镜后，被相机接收。