[实用新型]一种光电检测装置高度调节机构

摘要

本实用新型公开了一种光电检测装置高度调节机构，包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统，宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器，微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器，该光电检测装置高度调节机构既有宏位移调节系统以实现较大的调节行程，又有微位移调节系统以实现最终小位移的调节和精度补偿，并设置有位移检测装置，通过闭环控制实现高精度的高度调节。

主权项

一种光电检测装置高度调节机构，其特征在于：包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统，所述宏位移调节系统设置在基座上，所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上，所述基座上设置有支撑台和控制面板，支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器，所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接；所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器，所述伺服电机和电机控制器设置在基座上，伺服电机与电机控制器相连接，电机控制器与控制面板连接，伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接，滚珠丝杠上设置有滚珠螺母，滚珠螺母下端设置有宏位移感应片，所述宏位移感应片与支撑台上设置的宏位移传感器相对应；所述微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器，所述滚珠螺母上设置有支撑杆，支撑杆上设置有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器与压电陶瓷驱动器控制器连接，压电陶瓷驱动器控制器与控制面板连接，所述压电陶瓷驱动器上设置有工作台，所述工作台下端设置有微位移感应片，所述微位移感应片与支撑台上设置的微位移传感器相对应。