[实用新型]利用MOCVD尾气联产高纯氢和高纯氨的装置有效
| 申请号： | 201720731962.3 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN207227001U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 鲍坚仁;刘祥林;罗湘桂;鲍坚斌 | 申请（专利权）人： | 湖南高安新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/04 | 分类号： | C01B3/04;C01B3/56;C01C1/04;C01B3/50;C01B3/58 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 赵晓丹 |
| 地址： | 414009 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了利用MOCVD尾气联产高纯氢和高纯氨的装置，该装置包含氨分解炉、第一气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器、第二变压吸附提氢器、第二气体压缩机、第二变温吸附净化设备、纯化器、氨合成塔、氨分离设备；所述氨分解炉、第一气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器、第二变温吸附净化设备、纯化器、氨合成塔、氨分离设备依次连接；所述第二变压吸附提氢器与第一变压吸附提氢器连接；所述第二气体压缩机设于第一变压吸附提氢器与第二变温吸附净化设备之间，或所述第二气体压缩机设于纯化器与氨合成塔之间。该装置对MOCVD尾气利用率高，可应用于半导体行业中。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 mocvd 尾气 联产 高纯 装置 | ||
【主权项】：
利用MOCVD尾气联产高纯氢和高纯氨的装置，其特征在于，所述装置包含：氨分解炉、第一气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器、第二变压吸附提氢器、第二气体压缩机、第二变温吸附净化设备、纯化器、氨合成塔、氨分离设备；所述氨分解炉、第一气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器、第二变温吸附净化设备、纯化器、氨合成塔、氨分离设备依次连接；所述第二变压吸附提氢器与第一变压吸附提氢器连接；所述第二气体压缩机设于第一变压吸附提氢器与第二变温吸附净化设备之间，或所述第二气体压缩机设于纯化器与氨合成塔之间。
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