[实用新型]用于MOCVD设备控制的集成线束

摘要

本申请公开了一种用于MOCVD设备控制的集成线束，包括主线束，该主线束包括并列的多根线束、以及捆绑于所述多根线束外侧的线束扎扣，所述主线束的一端连接有第一连接器组件，所述主线束的另一端连接有第一分支线束、第二分支线束和第三分支线束，所述第一分支线束与控制手柄连接，所述第二分支线束的末端连接有实现门开关限位/复位、真空控制器信号单元控制的第二连接器组件，所述第三分支线束的末端连接有第四分支线束和第五分支线束。本新型的主线束在不同位置分别引出分支线束，安装时，便于各接插件的安装，避免线束混乱缠绕。本新型的第五分支线束与机械手相连，由于需要拖拽，其外部通过缠绕绑带，便于移动，牢固性好，使用寿命长。

主权项

一种用于MOCVD设备控制的集成线束，其特征在于，包括主线束，该主线束包括并列的多根线束、以及捆绑于所述多根线束外侧的线束扎扣，所述主线束的一端连接有第一连接器组件，所述主线束的另一端连接有第一分支线束、第二分支线束和第三分支线束，所述第一分支线束与控制手柄连接，所述第二分支线束的末端连接有实现门开关限位/复位、真空控制器信号单元控制的第二连接器组件，所述第三分支线束的末端连接有第四分支线束和第五分支线束，所述第四分支线束的末端连接有水流量计信号控制单元的第三连接器组件，所述第五分支线束的末端连接有机械手运动控制单元的第四连接器组件，所述第五分支线束的外侧螺旋缠绕有绑带，所述第二分支线束、第三分支线束和第四分支线束的外侧固定有线束扎扣，所述主线束上于不同位置分别延伸有第六分支线束、第七分支线束和第八分支线束，所述第六分支线束的末端连接有液体泄漏检测、真空泵信号控制单元的第五连接器组件，所述第七分支线束和第八分支线束的末端分别连接有盖子上升接插件和盖子下降接插件。