[实用新型]一种太赫兹时域光谱仪氮气流量智能控制装置有效
申请号: | 201720734178.8 | 申请日: | 2017-06-22 |
公开(公告)号: | CN207096101U | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 黄晓园;王红成;梁纯佳 | 申请(专利权)人: | 东莞理工学院 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586;G01N21/01 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人: | 陈卫 |
地址: | 523808 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种智能控制技术领域,更具体地,涉及一种太赫兹时域光谱仪氮气流量智能控制装置,包括有光谱采集室,其中,装置设有主控模块,主控模块连接有氮气流量控制装置,主控模块和氮气流量控制装置连接有氮气流量监测模块,光谱采集室内设有空气湿度监测模块,本实用新型能够自动采集氮气流量以及太赫兹时域光谱采集室采集室的空气湿度,实现氮气流量的精确控制,保证太赫兹时域光谱采集室采集室中的空气湿度保持稳定,大大提高了光谱数据的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 时域 光谱仪 氮气 流量 智能 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种太赫兹时域光谱仪氮气流量智能控制装置,包括有光谱采集室(7),其特征在于,所述装置设有主控模块(1),所述主控模块(1)连接有氮气流量控制模块(2),所述主控模块(1)和氮气流量控制模块(2)连接有氮气流量监测模块(3),所述光谱采集室(7)内设有空气湿度监测模块(4)。
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