[实用新型]一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器

摘要

本实用新型适用于传感器技术领域，提供了一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器，包括宽带光源单元，用于产生预置宽度的宽带光并发送给耦合单元；耦合单元用于对所述宽带光进行分束，将分束得到传感检测光发送给传感光路，及将分束得到的参考光发送给参考光路；传感光路用于对传感检测光进行反射，将反射得到传感检测反射光发送给耦合单元；参考光路用于对参考光进行反射，将反射得到参考反射光发送给耦合单元；耦合单元还用于对传感检测反射光和参考反射光进行合束，将合束得到的干涉光发送给解调单元；解调单元用于对干涉光进行检测与解调，得到干涉光谱。本实用新型实施例提供的传感器制备简单、加工重复性好。

主权项

一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器，其特征在于，包括宽带光源单元、耦合单元、传感光路、参考光路和解调单元；其中，所述传感光路与所述参考光路的光路长度不同，并且所述传感光路中包含有与氢气接触时可发生形变的对氢敏感部；所述宽带光源单元，与所述耦合单元相连接，用于产生预置宽度的宽带光，并将所述宽带光发送给所述耦合单元；所述耦合单元，分别与所述传感光路、所述参考光路和所述解调单元相连接，用于对所述宽带光进行分束，将分束得到传感检测光发送给所述传感光路，及将分束得到的参考光发送给所述参考光路；所述传感光路，用于为所述传感检测光提供第一传输光路，并在所述第一传输光路的末端将所述传感检测光进行反射得到传感检测反射光，并使得传感检测反射光再由所述第一传输光路返回至所述耦合单元；所述参考光路，用于为所述参考光提供第二传输光路，并在所述第二传输光路的末端将所述参考光进行反射得到参考反射光，并使得参考反射光再由所述第二传输光路返回至所述耦合单元；所述耦合单元，还用于对所述传感检测反射光和所述参考反射光进行合束形成干涉光，将合束得到的干涉光发送给所述解调单元；所述解调单元，用于对所述干涉光进行检测与解调，得到干涉光谱。