[实用新型]新型石英坩埚有效

专利信息
申请号: 201720735236.9 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN206927961U 公开(公告)日: 2018-01-26
发明(设计)人: 杜兴林;祝立君;章北铭;薛奎;王建龙 申请(专利权)人: 内蒙古欧晶科技股份有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06;C03C11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 010020 内蒙古自治区呼和浩*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种新型石英坩埚,其由内至外依次包括复合内层和薄气泡外层,复合内层由内至外依次包括透明层和气泡复合层,透明层和薄气泡外层的气泡含量均小于气泡复合层。本实用新型的优点在于,将微气泡含量较多的气泡复合层设置在微气泡含量较少的透明层和薄气泡外层之间,既保证了石英坩埚在拉晶工作时的热源均匀的辐射,确保拉晶操作可以正常进行;又保证了气泡复合层内的气泡在拉晶过程中不涨裂,降低了因长时间拉晶工作时石英坩埚外表面气泡膨胀破裂后与石墨坩埚的反应,延缓两者反应后析晶层形成的时间,增加石英坩埚的使用寿命,使其使用寿命增加至190小时,比常规石英坩埚寿命增加90小时以上,可以满足至少拉3‑4根单晶棒的拉晶工艺需求。
搜索关键词: 新型 石英 坩埚
【主权项】:
新型石英坩埚,其特征在于,其由内至外依次包括复合内层和薄气泡外层,所述复合内层由内至外依次包括透明层和气泡复合层,所述透明层和所述薄气泡外层中所含微气泡含量均小于所述气泡复合层。
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