[实用新型]用于探针焊接的探针固定臂有效
申请号: | 201720738248.7 | 申请日: | 2017-06-22 |
公开(公告)号: | CN206925501U | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 吴俊;熊强;袁志伟 | 申请(专利权)人: | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
主分类号: | B23K37/04 | 分类号: | B23K37/04;G01R1/067 |
代理公司: | 珠海智专专利商标代理有限公司44262 | 代理人: | 黄国豪 |
地址: | 519000 广东省珠海市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于探针焊接的探针固定臂,包括底座,底座上设置有沿X、Y、Z轴三个方向延伸的凸起块以及与凸起块对应的滑动块,凸起块的滑轨与滑动块滑轨相对应,凸起块与滑动块之间连接有弹性件,其中一块滑动块连接连接块,连接块的移动活动连接转动件,转动件的第一端连接夹持探针的夹持件,转动件的第二端邻接设置在连接块上的螺杆,利用螺杆连接夹持件的高度,采用以上结构,利用多维度自由调节夹持探针的夹持件的角度与高度,使得探针能够准确接触晶圆上的芯片,便于探针焊接的准确性,保证芯片测试的精准度以及探针焊接位置的精准度。 | ||
搜索关键词: | 用于 探针 焊接 固定 | ||
【主权项】:
用于探针焊接的探针固定臂,其特征在于,包括:底座,所述底座上设有第一固定板,所述第一固定板上设有第一凸起块,所述第一凸起块的一侧均设有Y轴滑轨,所述第一固定板连接有第一弹性件的第一端,所述第一弹性件的第二端连接第一滑动块,所述第一滑动块上设有第一滑轨,所述第一滑轨与所述Y轴滑轨邻接,所述第一滑动块的一侧设有第一轴承座,所述第一轴承座内连接第一螺杆;所述第一滑动块远离所述第一固定板的一面设有第二凸起块,所述第二凸起块的一侧设有X轴滑轨,所述第一滑动块连接有第二弹性件的第一端,所述第二弹性件的第二端连接第二滑动块,所述第二滑动块上设有第二滑轨,所述第二滑轨与所述X轴滑轨邻接,所述第二滑动块的一侧设有第二轴承座,所述第二轴承座内连接第二螺杆;所述第二滑动块远离所述第一滑动块的一面设有呈“L”形的第二固定板,所述第二固定板与所述第二滑动块垂直,所述第二固定板的第一端设置有第三凸起块,所述第三凸起块的一侧均设有Z轴滑轨,所述第三凸起块连接有第三弹性件的第一端,所述第三弹性件的第二端连接第三滑动块,所述第三滑动块上设有第三滑轨,所述第三滑轨与所述Z轴滑轨邻接,所述第二固定板的第一端还设有固定座,所述固定板内连接有第三螺杆,所述第三螺杆朝向并邻接所述第三滑动块,所述Y轴滑轨、所述X轴滑轨以及所述Z轴滑轨的延伸方向相互垂直;所述第三滑动块上连接连接块的第一端,所述连接块的第二端连接转动件,所述连接块上设置有通槽,所述通槽内贯穿有第四螺杆,所述转动件的第一端活动连接夹持件,所述第四螺杆朝向并邻接所述转动件的第二端。
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