[实用新型]一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器

摘要

本实用新型公开了一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，包括放电约束管外层、放电约束管内层、上紧固件、冷却水适配件、下紧固件、进气适配件和螺旋铜线圈，本实用新型放电约束管内层对放电区域进行约束，同时放电约束管内层上端向下开槽，使放电约束管除下端小部分区域外形成非封闭环状结构，避免形成法拉第笼对电磁场的屏蔽；薄壁的中空部分为冷却水通道，通过冷却水对放电约束管内层和附件的区域进行冷却，放电空间的部分外围的高温气流通过槽口到外层石英管壁面时已被冷却，提高了放电约束管工作时的安全性、稳定性和长效性。

主权项

一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，包括放电约束管外层(4)、放电约束管内层(5)、上紧固件(3)、冷却水适配件(2)、下紧固件(6)、进气适配件(1)和螺旋铜线圈，放电约束管外层(4)、放电约束管内层(5)的上端和下端分别通过上紧固件(3)和下紧固件(6)进行固定和配合，形成内外双层的放电约束管结构，放电约束管外层(4)为石英筒状结构，与放电约束管内层(5)配合并在周向上形成封闭空间；上紧固件(3)上端配合安装冷却水适配件(2)，进气适配件(1)置于冷却水适配件(2)上，放电约束管内层(5)为具有水冷通道的笼式结构，在其上端开槽，槽口沿周向均匀分布并从上端沿轴向向下端延伸，槽口下缘距放电约束管内层(5)下端面保留一定距离，使放电约束管内层(5)下端部分保持完整的环状结构，放电约束管内层(5)薄壁的中空部分为冷却水通道，冷却水自上而下流动对放电约束管内层(5)及附近的等离子体流进行冷却以保护放电约束管外层(4)，螺旋铜线圈缠绕在放电约束管外层(4)外围，螺旋铜线圈与放电约束管内层(5)同轴，且布置在开有槽口区域，螺旋铜线线圈末端连接射频电源。