[实用新型]一种多晶硅还原炉的接地保护装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉的接地保护装置，该装置包括总接触器和接地接触器，总接触器与接地接触器逻辑互锁，并且高压启动电源通过总接触器和打压接触器分别对各组负载中的硅棒进行击穿启动，启动后，每个调功电源分别对一组负载进行后续加热；停炉后，还原炉内连接每对硅棒的电极通过打压接触器与接地接触器连接，实现接地。因此，与现有技术的接地保护设备相比，本实用新型多晶硅还原炉的接地保护装置，能够减少高压隔离开关的使用数量，降低隔离开关故障引起的事故，同时节约设备投入成本。

主权项

一种多晶硅还原炉的接地保护装置，所述多晶硅还原炉系统内具有N个高压启动电源、M个调功电源、M个具有N+1个极的打压接触器和M组负载，每组负载均具有N对硅棒，其特征在于，所述接地保护装置包括总接触器和接地接触器，并且，所述总接触器和所述接地接触器的极数均具有N+1极；其中，N个所述高压启动电源串联在一起，并通过所述总接触器和所述打压接触器分别对M负载中的N对硅棒进行击穿启动；每个所述调功电源，用于分别对一组负载进行后续加热；停炉后，还原炉内连接每对硅棒的电极通过所述打压接触器与所述接地接触器连接，实现接地。