[实用新型]一种凹槽式真空探针检测装置有效
| 申请号： | 201720777776.3 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207007127U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 刘世文;熊翊世 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种凹槽式真空探针检测装置，包括显微镜、真空反应腔和设备支架，支架设置有的聚焦调节器，显微镜设置有物镜切换盘，真空反应腔为凹槽式，凹槽内的载物台上设置有垂直放置的探针。由于本申请的装置的真空反应腔为凹槽式，扩大了物镜与测量物品表面之间的空隙，并为探针留出更多的工作空间，又由于在真空反应腔内的载物平台上垂直放置探针，使得移动探针时，视线更好，可清晰、准确地观察待测物品的各个细节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 凹槽 真空 探针 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种凹槽式真空探针检测装置,包括显微镜、真空反应腔和设备支架，其特征在于还包括：安装于设备支架上的聚焦调节器，用于调整显微镜的高度和水平位置；安装于显微镜上的物镜切换盘，用于切换不同倍率的物镜；所述真空反应腔为凹槽式，凹槽内设置有观察窗口，真空反应腔内、观察窗口下方设置有载物台，载物台上设置有垂直放置的探针，待测物品放置于探针顶部；所述凹槽为所述物镜工作区域，调节所述显微镜的高度，可使得所述物镜高度下降，伸入所述凹槽内观察待测物品。
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