[实用新型]测试MEMS构件振动特性的系统有效
| 申请号： | 201720779220.8 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN206876369U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 贾晓丽;郭永豪;韩亚东;贺杰韬;陈召君 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学(北京) |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 乔媛 |
| 地址： | 102249*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种测试MEMS构件振动特性的系统，涉及微结构振动特性测试技术领域，测试MEMS构件振动特性的系统包括隔振台，隔振台上设置有信号发生器、压电陶瓷、激光测振仪、支架和被测的MEMS构件，信号发生器，用于输出振动控制信号，压电陶瓷，与信号发生器相连且顶部设置有被测的MEMS构件，用于接收振动控制信号，在振动控制信号的激励下带动被测的MEMS构件振动，激光测振仪，通过支架设置于被测的MEMS构件的上方，用于测试被测的MEMS构件的振动特性参数，振动特性参数包括振动位移、振动速度、振动加速度和振动频率并输出。本实用新型提供的测试MEMS构件振动特性的系统可以解决现有的振动特性测试系统无法满足MEMS构件测试要求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 mems 构件 振动 特性 系统 | ||
【主权项】：
一种测试MEMS构件振动特性的系统，其特征在于，所述测试MEMS构件振动特性的系统包括隔振台(10)，所述隔振台(10)上设置有信号发生器(20)、压电陶瓷(30)、激光测振仪(40)、支架(50)和被测的MEMS构件(60)；其中，所述信号发生器(20)，用于输出振动控制信号；所述压电陶瓷(30)，与所述信号发生器(20)相连且顶部设置有所述被测的MEMS构件(60)，用于接收所述振动控制信号，在所述振动控制信号的激励下带动所述被测的MEMS构件(60)振动；所述激光测振仪(40)，通过所述支架(50)设置于所述被测的MEMS构件(60)的上方，用于测试所述被测的MEMS构件(60)的振动特性参数，所述振动特性参数包括振动位移、振动速度、振动加速度和振动频率并输出。
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