[实用新型]一种环境传感器有效
申请号: | 201720781397.1 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN207046862U | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 端木鲁玉 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81C3/00;G01D11/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 261031 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种环境传感器,包括基板、外壳及由所述基板与外壳构成的密封空间,在所述密封空间内设置有第一MEMS芯片、第一ASIC芯片、第二MEMS芯片、第二ASIC芯片,所述第一MEMS芯片和第二ASIC芯片固定于所述基板上,所述密封空间内还设有密封平台,所述第二ASIC芯片设置于所述密封平台内部,所述密封平台上固定有所述第一ASIC芯片和第二MEMS芯片。本实用新型的环境传感器的封装结构,可以减少外界应力对芯片的影响,同时有效减小了传感器尺寸。 | ||
搜索关键词: | 一种 环境 传感器 | ||
【主权项】:
一种环境传感器,包括基板、外壳及由所述基板与外壳构成的密封空间,在所述密封空间内设置有第一MEMS芯片、第一ASIC芯片、第二MEMS芯片、第二ASIC芯片,所述第一MEMS芯片和第二ASIC芯片固定于所述基板上,所述密封空间内还设有密封平台,所述第二ASIC芯片设置于所述密封平台内部,所述密封平台远离所述基板一侧固定有所述第一ASIC芯片和第二MEMS芯片。
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