[实用新型]流量可控的高活性硒或硫裂解气的产生装置

摘要

流量可控的高活性硒或硫裂解气的产生装置，包括蒸发器、裂解筒和节流片，蒸发器采用内加热式，利用热辐射器对硒或硫表面进行辐射加热，使固体硒或硫熔化成液态，并在5～10KPa的压强下蒸发出硒蒸汽或硫蒸汽，经过节流片上的节流孔进入裂解筒裂解为小分子硒或硫裂解气，用于制备硒化物半导体材料或硫化物半导体材料。本实用新型的产生装置能够将固态硒或硫转化为汽态，经高温热裂解获得高活性硒或硫裂解气，并可抵抗周边温度的影响，使裂解气流量得到有效控制，能为硒化或硫化系统或蒸发系统提供高活性硒或硫裂解气。

主权项

流量可控的高活性硒或硫裂解气的产生装置，其特征在于：包括蒸发器、裂解筒和节流片，所述的蒸发器由抗硒或硫腐蚀的材料制作；蒸发器内设有热辐射器、热偶及传导支柱，热辐射器设在蒸发器的上半部，传导支柱底部固定在蒸发器底壁上，热偶固定在传导支柱上；蒸发器外套有蒸发器热屏蔽套；裂解筒固定在蒸发器的上方，与蒸发器之间靠连接锁母连接；所述的裂解筒采用抗硒或硫腐蚀、并具有良好导热性的材料制作，裂解筒外套有裂解热屏蔽罩，裂解筒与裂解热屏蔽罩之间有裂解加热丝和裂解热电偶；裂解筒与蒸发器的连接处还设有节流片，节流片上开有节流孔。