[实用新型]蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置有效
| 申请号： | 201720789067.7 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN207058328U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 刘晓强 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，属于蓝宝石衬底加工技术领域。其解决了现有研磨头冷却系统存在的研磨头温度不一致等问题。本实用新型的冷水机上设有水箱，水箱出口连接有冷水机出水管，出水管上设有水泵，水泵泵出的冷却水经分流器分流并经与研磨轴连接的分流管流向研磨头，研磨头设置在研磨轴的下方，每个分流管上设有水压调节阀，冷水机、水泵和水压调节阀均与控制器的输出端连接，还包括与控制器输入端连接的流量计。本实用新型通过在研磨轴冷却水回水端安装高精度的流量计进行各研磨头冷却水流量的实时监控，通过控制水压调节阀调节分流管的流量使四个研磨头的温度保持一致，提高了蓝宝石衬底片的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 dmp 设备 研磨 冷却 改进 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：包括冷水机(1)，冷水机(1)上设有水箱(2)，水箱(2)出口连接有冷水机(1)出水管(3)，出水管(3)上设有水泵(4)，水泵(4)泵出的冷却水经分流器(5)分流并经与研磨轴连接的分流管(7)流向研磨头，研磨头设置在研磨轴的下方，每个分流管(7)上设有水压调节阀(6)，冷水机(1)、水泵(4)和水压调节阀(6)均与控制器(8)的输出端连接，还包括与控制器(8)输入端连接的流量计(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛嘉星晶电科技股份有限公司，未经青岛嘉星晶电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720789067.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种卧式钢球研球机上的油缸布局结构
- 下一篇：一种多面冲头精磨分度夹具
